半导体器材的出产对出产环境要求很严,触及数百个制作工序,对出产环境,如温度、湿度,洁净度都有严格要求。半导体器材,尤其是高密度的集成电路,易遭到各种污染的危害。半导体器材对污染的敏感度取决于较小的特征图形的尺度和晶片外表堆积层的薄度。空气中充满着尘土,尽管细小到肉眼不行见,但这些尘土关于每个晶体管的体积就归于较大颗粒,如若这些微粒黏附在制作半导体的晶圆上,可能会影响其精细的导线布局,损坏半导体器材的导电功能,形成电性短路或断路。因而要确保半导体出产的良品率,必需要确保其出产环境的洁净度。
日前,在坐落浦东临港的新松机器人制作基地内,刚刚完工的百级洁净室现已投入到半导体出产环境的相关测验作业中。该洁净室依照半导体出产环境百级(Class5)洁净等级建立,协作专用仪器,能够直接在新松出产基地完结半导体智能化出产的悉数进程中所运用的运动部件的相关测验作业,极大地加快了中科新松相关这类的产品的优化迭代速度。
迄今为止,中科新松自主研制和出产了多种适用于半导体线边物流的中心机器人产品,包含ARV、OHS、OHT、RGV、Stocker、AMR、Lift等,悉数的产品依照SEMI认证的规范做规划,满意SEMI S2、SEMI S8、SEMIS17中的ESD、EMC、CLASS 5等认证要求。 此外,依托于中心半导体线边物流组件,针对不同的半导体出产工艺流程,中科新松构建了很多的线边物流自动化体系(AMHS)。在方案规划施行上,中科新松充沛开掘客户现场的有限运用空间,完成地上、空中一体化解决方案,为客户发明更大的价值。现在中科现已与多家国际闻名半导体企业达到协作并交给施行了数百台智能化机器人设备,相关这类的产品出口东南亚等多个国家。
中科新松有限公司是新松机器人集团(股票代码:300024,股票名称:机器人)在上海建立的国际总部,是新松集团“2+N+M”战略布局中两大总部组织之一,致力于打造一个国际化的、渠道化的、立异的机器人职业标杆。
多可®协作机器人聚集于协作机器人系列化产品的自主研制和出产,构建了根据DUCO COBOT协作机器人、DUCO AMR智能移动机器人、DUCO Mind智能使用控制器、DUCO Core操作体系和DUCO Cloud云渠道技能的产品服务体系。产品经过CE和SEMI认证,凭仗智能、安全、安稳等特色,大范围的使用于轿车、动力,半导体,3C,食品药品,教育科研等多个职业,产品出口东南亚、北美、欧洲等数十个国家与区域,品牌影响力享誉全球。
新松®才智工厂,运用新松丰厚的机器人产品以及强壮的机器人体系技能,为客户供给集中心制作技能开发、工艺流程研讨及体系规划于一体的数字化工厂自动化体系解决方案的规划与施行。
中科新松被工信部认定为国家级“专精特新”小伟人企业、成为协作机器人详尽区分范畴的“隐形冠军”,荣获“高新技能企业”、上海市“专精特新”企业,上海市企业技能中心、上海市专利作业试点优异单位,浦东新区企业研制组织等称谓,当选《上海市第一批人机一体化智能体系解决方案供货商引荐目录》,取得上海市科学技能进步一等奖、上海市五一劳动奖状等荣誉。
才智协力,国际向前。未来,中科新松将持续坚持自主研制、技能自主可控,与更多客户携手,共创夸姣的未来!